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陶瓷手臂在高端半導體設備里的應用

文章出處:http://www.xingyunyoufu.cn/taocigongyi_/732.html人氣:82時間:2022-11-11

    陶瓷機械手臂又稱陶瓷搬運臂,顧名思義,陶瓷機械手臂在半導體設備中起到搬運作用,它相當于半導體設備這個機器人的手,負責搬運晶圓硅晶片到指定位置。因為晶圓硅晶片在極其容易受到其他顆粒的污染,所以一般在真空環境下進行。有興趣的朋友可以聯系鈞杰陶瓷熱線電話:13712574098。

    在此環境下,大部分材料的機械手臂一般難以完成工作,制作機械手臂的材料需要耐高溫、耐磨、并且硬度也需要很高。這時有人發現了精細陶瓷材料可以滿足這些條件,一般的陶瓷機械手臂有兩種,一種是氧化鋁陶瓷機械手臂,另一種是碳化硅陶瓷機械手臂。

氧化鋁陶瓷搬運手臂    氧化鋁陶瓷和碳化硅陶瓷的都具備致密質、高硬度、高耐磨性的物理性質,以及良好的耐熱性能、優良的機械強度、高溫環境仍具有良好的絕緣性、良好的抗腐蝕性等物理性能,是用于制作半導體設備機械手臂的絕佳材料。

    但是就性能來說,碳化硅陶瓷制作的機械手臂會優于氧化鋁陶瓷制作的機械手臂。

    常壓燒結碳化硅陶瓷制品,采用高純超細碳化硅微粉,經2450℃高溫燒結而成,碳化硅含量在99.1%以上,制品密度≥3.10g/cm3,不含金屬硅等金屬雜質。

碳化硅陶瓷    碳化硅陶瓷材料主要性質:
耐高溫--1800℃溫度下正常使用;
高熱導性--和石墨材料的導熱性相當;
硬度高--硬度僅次于金剛石、立方氮化硼;
耐腐蝕--強酸、強堿對其無任何腐蝕,抗腐蝕性優于碳化鎢和氧化鋁;
重量輕--密度3.10g/cm3,與鋁接近,;
不變形--極小的熱膨脹系數,
抗熱震--該材料可承受急劇的溫度變化,抗熱沖擊,耐急冷急熱,性能穩定。

    從材料性質來看,碳化硅陶瓷用于制作陶瓷機械手臂較為合適,但是從材料價格、加工難度等經濟方面來說,氧化鋁陶瓷機械手臂的性價比更高。氧化鋁陶瓷具備制作機械手臂的所有需求,性價比高于碳化硅,但是碳化硅性能比氧化鋁好,選擇哪種材料制作半導體機械手臂主要也看個人需求了。

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